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产品特点
lŸ非接触闭式气浮结构Ÿ行程50~200mm可选
lŸ重复定位精度±75nmŸ全行程直线度0.1μm
lŸ优化线缆管理Ÿ可定制化设计
应用领域
QFUZ系列是一款侧挂在大理石横梁上的精密气浮Z轴，闭式气浮结构，刚度大，用于飞秒激光加工、测试测量、半导体及光子学等行业。
结构特点
精密气浮Z轴闭式气浮结构，气浮导轨四面均匀受力，对于一些大体积、大负载在气浮导轨上不均匀分布的应用，更能突出性能优势，行程50~275mm可选。配置无摩擦重力平衡气缸，有效地抵消电机向上持续输出力，提升精度性能，同时断使能后负载不会受重力影响而向下脱落。
精密性能
气浮导轨实现无摩擦地平滑移动，与摩擦式导轨相比，气浮的非接触式结构，使直线度、平面度、Pitch Yaw、跟随误差、定位精度和重复定位精度得到提高 。
线缆管理
使用高质量带屏蔽的线缆，管线弯曲半径更小，能够防止电子信号的干扰，防止动作过程中线缆的拉伸影响到气浮运动台的性能，以确保无故障操作。
定制化
可定制陶瓷材质气浮导轨，重复定位精度±15nm；定制最大加速度5m/s²；行程也可接受定制。
规格指标
型号 |
单位 |
QFUZ-50 |
QFUZ-100 |
QFUZ-150 |
QFUZ-200 |
|
行程 |
mm |
50 |
100 |
150 |
200 |
|
补偿后定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.15 |
±0.15 |
标准值 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.2 |
||
双向重复定位精度 |
Plus(1) |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.075 |
±0.075 |
标准值 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
±0.1 |
||
直线度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.05 |
±0.05 |
±0.1 |
±0.1 |
标准值 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.4 |
||
平面度(2) |
Plus(1) |
μm |
±0.1 |
±0.1 |
±0.2 |
±0.2 |
标准值 |
±0.2 |
±0.2 |
±0.4 |
±0.4 |
||
Pitch Roll Yaw(2) |
Plus(1) |
arc sec |
±0.25 |
±0.25 |
±0.4 |
±0.4 |
标准值 |
±0.5 |
±0.5 |
±1 |
±1 |
||
电子分辨率(3) |
nm |
0.3 或 5（选配） |
||||
最大速度 (空载)(4) |
mm/s |
50 |
100 |
300 |
300 |
|
最大加速度 (空载)(4) |
m/s² |
1,（5 定制） |
||||
最大负载 |
kg |
20 |
||||
供气压力(5) |
MPa |
0.5±0.05 |
注：
以上为单轴精度指标，在洁净间内测试，温度20℃±0.5℃，湿度40%~60%RH，振动等级VC-F，测试点在负载板上25mm处，测试速度10mm/s，Renishaw激光干涉仪测量及自带分析方法，多轴系统的精度测试与负载尺寸及测试点高度有关，环境的变化会导致精度变化，如要求非标准测试，请咨询我们。
1. Plus值为高精度指标，是标准值的升级版。
2. 取决于平台安装表面的平面度。
3. 电子分辨率取决光栅尺及控制器的细分倍数。
4. 空载条件下的指标，最大速度和加速度取决于负载大小。
5. 为保护气浮导轨建议加装压力保护开关。压缩空气必须是清洁的（过滤至0.25μm或更佳，ISO8573-1），无水（压力露点-20℃，ISO8573-1级别3）及无油（ISO8573-1级别1）。