点击图片查看原图
产品特点
l Ÿ 直线轴行程200mm*200mm*150mm (XYZ)
l Ÿ 旋转轴行程±90°*360°（AB轴）
l Ÿ XYZ交叉滚柱导轨，纳米级定位纹波
l Ÿ AB轴气浮转台，亚微米跳动误差
l Ÿ 优化线缆管理系统
l Ÿ 结构、行程可定制
应用领域
RBN-200XY-150Z-AB五轴精密运动台用于曲面飞秒激光加工。
产品简介
XY轴采用防蠕动十字交叉滚柱导轨导向，直线电机驱动及光栅尺闭环反馈，XY轴平面式结构，最大限度降低高度，减小系统误差影响；此外XY轴可定制抱闸功能，抱闸位置漂移可控制在10nm内。
Z轴直驱力矩电机驱动，交叉滚柱导轨导向及光栅尺闭环反馈，获得纳米级定位纹波；
AB轴气浮轴承、力矩电机驱动及光栅尺闭环反馈，闭式气浮结构，对结构进行优化设计，气浮轴承表面和创新的预压高刚度，侧向放置承载能力大，解决气浮抱死的问题。优秀的轴向跳动误差、径向跳动误差和倾角误差，使AB轴正交2~10arc sec，轴向线重合度2~10μm。
大理石机体因强度大、硬度高、不生锈、耐腐蚀性、耐磨性及稳定性好，应用于运动台上质量可靠，品质有保障。大理石做模态分析，优化结构尺寸，可依据客户的要求做最终设计。
规格指标
轴系 |
测试项目 |
单位 |
指标要求 |
实测指标 |
X 轴 |
行程 |
mm |
200 |
200 |
补偿后定位精度 |
μm |
±0.5 |
±0.07 |
|
双向重复定位精度 |
μm |
±0.15 |
±0.05 |
|
直线度 |
μm |
±1.5 |
±1.1 |
|
平面度 |
μm |
±2 |
±0.45 |
|
工作速度 |
mm/s |
100 |
100 |
|
Y 轴 |
行程 |
mm |
200 |
200 |
补偿后定位精度 |
μm |
±0.75 |
±0.15 |
|
双向重复定位精度 |
μm |
±0.25 |
±0.04 |
|
直线度 |
μm |
±1.5 |
±1.2 |
|
平面度 |
μm |
±4 |
±0.9 |
|
工作速度 |
mm/s |
100 |
100 |
|
A 轴 |
行程 |
° |
±90 |
±90 |
补偿后定位精度 |
arc sec |
±2 |
±0.4 |
|
双向重复定位精度 |
arc sec |
±1 |
±0.15 |
|
轴向跳动误差 |
μm |
0.5 |
0.2 |
|
径向跳动误差 |
μm |
0.5 |
0.3 |
|
工作速度 |
°/s |
40 |
40 |
|
B 轴 |
行程 |
° |
360 |
360 |
补偿后定位精度 |
arc sec |
±2 |
±0.4 |
|
双向重复定位精度 |
arc sec |
±1 |
±0.2 |
|
轴向跳动误差 |
μm |
0.5 |
0.1 |
|
径向跳动误差 |
μm |
0.5 |
0.3 |
|
工作速度 |
°/s |
40 |
40 |
|
Z 轴 |
行程 |
mm |
150 |
150 |
补偿后定位精度 |
μm |
±0.5 |
±0.4 |
|
双向重复定位精度 |
μm |
±0.1 |
±0.06 |
|
直线度 |
μm |
±1 |
±0.05 |
|
平面度 |
μm |
±1 |
±0.35 |
|
工作速度 |
mm/s |
50 |
50 |
|
XYAB |
负载 |
kg |
1 |
1 |
Z |
负载 |
kg |
20 |
20 |