SHR激光波长计可以方便的测量脉冲和连续激光器的波长,精度达到+/- 3pm,整个波长范围是190-1100nm。光学分辨率(FWHM)可以达到30000(λ/Δλ(FWHM)),在紫外段,可以达到6pm,在近红外波段可以达到40pm。SHR激光波长计由于其测量的特点,也可以用于在线测量。
SHR激光波长计并不是用于一般的宽光谱测量,但是,它凭借中阶梯光栅,可以好的用于分析窄波长的产品-在UV短的峰展宽0.5nm到近红外波段的18nm。

特点:
l 准确度高、光谱范围宽
l 光谱分析
l 连续或脉冲激光测量
l 紧凑设计、无移动部件
l 带衰减器的光纤输入
l 友好的操作软件界面
技术参数:
| 操作模式 | 连续或脉冲 | 
| 光谱范围 | 190 - 1100 nm | 
| 精度 | ± 3 pm | 
| 光谱分辨率 | 30 000 | 
| 光源线宽要求 | ≤125 см-1 | 
| 衍射光栅 | 小于 0.5 mW @ 632.8nm | 
| 灵敏度 | 7 ms | 
| 光学接口 | SMA-905,光纤直径400 um , 长1000mm ,衰减器 FA-3 | 
| 计算机接口 | USB | 
| 软件 | WLMeter | 
| 尺寸和重量 | 165 х 215 х 90 mm; 2.6 kg | 
WLMeter软件:

SHR激光波长计光学分辨率 SHR激光波长计最大

193.3nm ArF 测量,可接光纤,也可接光学端口

Diode laser λcenter=655.25nm, FWHM<0.022nm. 单个模式间隔170pm
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