电机结构：
单轴振镜电机包含高精度传感器和基于移动磁铁技术的电机部分。电机转子经过优化设计，有极佳的动态属性和响应特性，此外，电机具有高刚性和低摩擦的特点。另外通过运动学和动力学仿真，针对每个电机都匹配了一定惯量的镜片。
Ultra-Galvo：
用光电传感器作为反馈系统的振镜，特点是有较高的重复精度和线性度，而且性价比极高。
Extra-Galvo：
用光栅编码器作为反馈系统的振镜，对比光电振镜，具有更高的位置解析度、更好的重复性和更低的漂移，即使在环境温度变化的条件下，也保持较好的重复性。
传感器对比
Ultra-Galvo |
Extra-Galvo |
|
最大角度(°) Maximum angle (°) |
±12.5 |
±12.5 |
非线性度(%)Nonlinearity (%) |
＜0.4 |
＜0.1 |
重复精度(µrad) Repeatability (µrad) |
＜5 |
＜2 |
零位漂移（µrad/K）Offset Drift（µrad/K） |
＜15 |
＜15 |
增益漂移（ppm/K）Gain Drift（ppm/K） |
＜50 |
＜8 |
位置解析度Position resolution |
18位 |
23位 |
技术参数
XXS |
XS |
S |
M |
L |
||
入口光斑Input Beam Aperture (mm) |
<7 |
7 |
8.5 |
10 |
14 |
20-30 |
转动惯量Moment of inertia(g•cm2) |
0.013 |
0.018 |
0.174 |
0.34 |
1.2 |
5.1 |
力常数Force constant(N•mm/A) |
1.2 |
2.7 |
5.3 |
7.5 |
15 |
24 |
线圈电阻Coil resistance(Ω) |
2.1 |
3.6 |
2.1 |
2.7 |
2.6 |
1.58 |
线圈电感Coil inductance(µH) |
35 |
70 |
63.5 |
165 |
275 |
385 |
最大连续电流Maximum continuous current(A) |
2.3 |
2.3 |
2.3 |
2.5 |
3.5 |
5 |
峰值电流Peak current(A) |
6 |
8 |
10 |
10 |
10 |
10 |
上升时间Rise Time(ms) |
0.13 |
0.10 |
0.15 |
0.18 |
0.3 |
0.7 |
质量Weight(g) |
13 |
18 |
50 |
220 |
300 |
400 |
光栅振镜Grating galvanometer |
S |
M |
L |
入口光斑Input Beam Aperture (mm) |
10 |
14 |
20-30 |
转动惯量Moment of inertia(g•cm2) |
0.6 |
1.5 |
7.2 |
力常数Force constant(N•mm/A) |
7.5 |
15 |
24 |
线圈电阻Coil resistance(Ω) |
2.7 |
2.6 |
1.58 |
线圈电感 Coil inductance(µH) |
155 |
275 |
385 |
最大连续电流Maximum continuous current(A) |
2.5 |
3.5 |
5 |
峰值电流 Peak current(A) |
10 |
10 |
10 |
上升时间 Rise Time(ms) |
0.2 |
0.3 |
0.7 |
质量Weight(g) |
220 |
300 |
400 |
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