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机型特点
可进行曲线及直线图形切割,性能稳定可靠等优点。
适用材料和行业应用
*主要用于金属材料及硅、锗、砷化镓和其他半导体衬底材料的划片和切割,可加工
太阳能电池板、硅片、陶瓷片、铝箔片等。
*一体化结构,占地面积小,光束质量好,软件功能强,整机运行稳定可靠,操作简
单,切割效率高,适合大批量加工。
技术参数
* 激光工作介质 : Nd:YAG
*激光波长:1.064μm
*激光功率:100W(灯泵浦)
*激光功率不稳定度:≤3%
*调制频率:500Hz-50KHz
*出光方式:连续激光调Q
*切割速度:15-100mm/s(视材料而定)
*重复精度:0.002mm
*切割范围:180mmX180mm
*最大切割深度:#p#分页标题#e#1.5mm(单晶硅)
*切割线宽:0.02-0.2mm(视材料可调)
*
X、Y工作台行程:
200mmX200mm*供电电源:AC380V±10%,50Hz
*输入功率:≤5KW
*冷却系统:制冷机组
*内循环介质:去离子水,蒸馏水或纯净水
*安全性:过流保护、过温保护、过压保护
*激光器连续工作时间:≤16H
*重量:240Kg
*外型尺寸:900mmX1300mmX1400mm
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