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打孔

激光打孔 vs 激光诱导刻蚀，谁才是TGV玻璃加工的王者？

hth官方来源：睐芯科技LightSense2025-05-22我要评论(0)

除了激光，玻璃打孔的方式还有哪些？制备方法有喷砂、机械钻孔、干法刻蚀、湿法腐蚀、聚焦放电等方式，见下表：方法原理说明1. 喷砂高速喷射磨料颗粒撞击玻璃表面，反复...

除了激光，玻璃打孔的方式还有哪些？

制备方法有喷砂、机械钻孔、干法刻蚀、湿法腐蚀、聚焦放电等方式，见下表：

方法
原理说明
1. 喷砂
高速喷射磨料颗粒撞击玻璃表面，反复冲刷凿出通孔
2. 机械钻孔
使用微型硬质钻头（如金刚石）机械旋转钻入玻璃
3. 干法刻蚀
采用等离子体或离子束对玻璃进行各向异性刻蚀
4. 湿法腐蚀
使用HF化学蚀刻玻璃内部结构
5. 聚焦放电
高压放电产生局部高温，击穿玻璃形成孔洞

使用激光打孔的好处？

1，激光可实现 高精度定位，孔位误差小；无需掩膜或钻头；能加工微米级孔径（<10 µm），也可根据功率调整孔深/孔径比。
2，通过参数调节、聚焦控制可实现 高密度阵列孔，
3，可实现批量自动打孔，加工速度快；适合 大尺寸面板化封装工艺。
激光烧蚀与激光诱导刻蚀的区别？

项目
激光烧蚀 激光诱导刻蚀
原理
高能激光直接将材料 气化/熔化烧蚀
飞秒激光在玻璃内部诱导结构变化，再通过 化学腐蚀清除受损区域
步骤流程
单步完成：激光直写打孔
两步：①飞秒激光写入轨迹 → ②湿法腐蚀移除变性玻璃
能量特性
通常使用CO₂激光、UV激光，热效应明显
飞秒激光，极短脉冲， 无热影响区
玻璃损伤
易产生热裂纹、边缘崩裂
几乎无热裂纹，孔壁光滑、结构完整
孔的精度与形状控制
孔形受限， 孔口易塌边、不垂直
可实现 高深宽比、高密度、垂直 孔、异形孔阵列



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